Sistema de
micromaquinagem volúmica do silício para fabrico de estruturas
3D |
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Cabine limpa
horizontal classe 100 |
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Probe-station
para teste e medida de circuitos integrados e wafers |
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Sistema de
wire-bonding |
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Bancada de
processamento de wafers |
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Spin-coating |
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Mask aligner
para alinhamento de máscaras |
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Dicer para
cortar wafers |
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Profilometer
para medição de espessuras de filmes finos |
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Profilometer
para medição de espessuras de filmes finos |
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Evaporador e
sputtering para deposição de materiais |
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Sistema de
microfresagem |
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Network analyzer e
analisador de espectros até 6 GHz |
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Câmara anecóica (3 m
x 2 m x 3 m) na gama 900 MHz - 9 GHz |
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Sistema para análise
espectral |
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Sistema de cápsula
endoscópica |

Monocromador UV/VIS
com uma grelha de 1200 l/mm, uma resolução espectral de 0.5 nm e
uma dispersão espectral de 6.6 nm/mm a 350 nm |
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Para exame e
diagnóstico do intestino delgado (inclui software de imagem
médica) |
Ultra-sons para
ecografia abdominal, cardíaca e ocular |
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Sistema de
ElectroEncefaloGrama (EEG) para interface cérebro-computador |
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Biopotenciais –
aquisição e processamento de sinal |
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TAC (Siemens SOMATOM
ESPRIT) |
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